主权项 |
一种角速度传感器,包括:环形框架,包括第一梁组,在第一方向上延伸并且在与所述第一方向正交的第二方向上彼此相对,第二梁组,在所述第二方向上延伸并且在所述第一方向上彼此相对,以及多个连接器,被配置为连接在所述第一梁组与所述第二梁组之间;驱动单元,被配置为以振动模式在所述第一方向和所述第二方向所属的第一平面内振动所述框架,在所述振动模式中,当所述第一梁组和所述第二梁组中的一组彼此靠近时,另一组彼此远离,并且当所述一组彼此远离时,所述另一组彼此靠近;第一检测器,被配置为基于以所述振动模式振动的所述框架在所述第一平面中的变形量,检测环绕与所述第一平面正交的第三方向的轴的角速度;支撑机构,包括环形底座部,包括围绕所述框架的外侧的内周部,以及多个接合部,被配置为接合在所述内周部与所述多个连接器之间;第一摆,设置于所述框架并在所述第一平面内与所述框架的振动同步振动;第二摆,设置于所述框架并在所述第一平面内与所述框架的振动同步振动;以及第二检测器,被配置为基于所述第一摆和所述第二摆在正交于所述第一平面的方向上的变形量来检测环绕所述第一平面中两个预定方向的轴的角速度,所述第一摆设置在所述多个连接器中成对角关系的第一连接器组中,所述第二摆设置在所述多个连接器中成对角关系的第二连接器组中。 |