一种复合型超声频微细电加工装置

摘要

一种复合型超声频微细电加工装置，属于复合精密、微细特种加工技术领域。本实用新型中工具电极与工件均被施加以一定频率的超声频振动，有效提高工件的加工效率；超声振动装置结构对称增加了工件加工的稳定性，工件被超声振动装置辅助以超声振动，有助于电加工的横纵向加工；本实用新型的进给机构优选伺服电机带动工作台机构在滚珠丝杠导轨上微细移动进给，进给机构可联动微细进给，可实现工件的复杂曲面加工。本实用新型结构新颖，有效提高电加工的加工效率与精度，解决了超声复合电加工在加工深径比大的工件时效率低下，以及很难加工复杂异形面的缺陷。

主权项

一种复合型超声频微细电加工装置，包括机构底座(19)、设置在机构底座(19)上的支撑架(20)以及待加工工件(12)；其特征在于：所述机构底座(19)上设有进给机构，所述进给机构由横向进给机构(18)、纵向进给机构(17)和轴向进给机构(16)组成，所述轴向进给机构(16)上固定设有超声振动装置(14)，所述超声振动装置(14)由振动装置底板(21)、支架板、超声换能器(26)和上变幅杆(10)构成，所述振动装置底板(21)上设有工作台(13)，所述待加工工件(12)置于所述工作台(13)的上方，所述支撑架(20)的上端设有压电式超声换能器(9)、上变幅杆(10)和工具电极(11)；所述机构底座(19)一侧还设有电解加工装置，所述电解加工装置由超声电源(1)、信号转发器(2)、电解单元、超声辅助单元和调节控制电路(6)组成，所述调节控制电路(6)置于所述电解单元和超声辅助单元之间；所述电解单元由电解电源(3)、限流电阻(4)、超声斩波电路(5)组成；所述超声辅助单元由超声波发生器(8)和功率放大电路(7)组成；所述功率放大电路(7)的一端与所述超声换能器(26)相接，所述功率放大电路(7)的另一端和所述超声斩波电路(5)合并连接在所述信号转发器(2)上，所述工作台(13)与所述超声斩波电路(5)作用相接，所述信号转发器(2)和超声电源(1)串联作用在所述压电式超声换能器(9)上，所述工具电极(11)正对所述待加工工件(12)并进行超声频机械振动。