一种容易实现的硅片分类机

摘要

本发明涉及现代工艺设备技术领域，具体涉及一种容易实现的硅片分类机。一种容易实现的硅片分类机，由安装在分类机中部的传输机械手单元和控制机械手单元运行的电气控制单元；两套安装在分类机机架内两侧由电机驱动的硅片对中机构及电气控制单元；由摄像头、激光头、光检测装置组成的两套光学系统以及一台工业计算机与接口硬件、控制软件及识别软件；其中，所有传感器和控制单元通过硬件接口与计算机相连接。本分类机用紧凑的结构(包括单个机械手和两套硅片标识识别装置)，采用了较好的图像处理软件和可靠的字符标识识别软件，实现了制造成本低、识别成功率高、可靠性好、便于实现的结果。

主权项

一种容易实现的硅片分类机，其特征在于：由安装在分类机中部的传输机械手单元和控制机械手单元运行的电气控制单元；两套安装在分类机机架内两侧由电机驱动的硅片对中机构及电气控制单元；由摄像头、激光头、光检测装置组成的两套光学系统以及一台工业计算机与接口硬件、控制软件及识别软件；其中，所有传感器和控制单元通过硬件接口与计算机相连接。