MULTILAYER MIRROR AND LITHOGRAPHIC APPARATUS

摘要

다층 미러는 2-8 nm 범위 내의 파장을 가지는 방사선을 반사하도록 구성 및 배치된다. 상기 다층 미러는 Cr 층과 Sc 층, Cr 층과 C 층, C 층과 BC 층, U 층과 BC 층, Th 층과 BC 층, C 층과 BC 층, La 층과 BC 층, U 층과 BC 층, Th 층과 BC 층, La 층과 B 층, C 층과 B 층, U 층과 B 층, Th 층과 B 층으로 이루어진 그룹에서 선택된다.