| 摘要 |
本発明が提供する、プログラマブルロジックの配線切り換えスイッチに適用可能な、電気化学反応を利用した不揮発性スイッチング素子では、不揮発性スイッチング素子の抵抗変化層にバイアス電圧を印加する二つの電極のうち、「オン」状態へのスイッチング時に抵抗変化層へ金属イオンの供給を行わない電極をルテニウム合金で作製し、該ルテニウム合金は、金属から金属イオンを生成する過程の標準生成ギブズエネルギーΔＧが、ルテニウムのΔＧと比較し、負方向に大きい金属と、ルテニウムで構成しており、その結果、「オン」状態と「オフ」状態の間のスイッチング時に要する電流量を増加させることなく、「オン」状態の低抵抗状態を長時間維持することが可能となる。 |
