| 发明名称 | 用于辐照表面的具有底座的辐射器 | ||
| 摘要 | 为了辐照表面而提出一种具有底座（8）的辐射器（1），其中底座具有至少一个通气口（12）以用于将过程气体输送到与辐射器容器（2、3、5）相邻的空间区域中。由此，能够放弃单独的气体输送装置。可选地，辐射器容器（2、3、5）也能够具有用于输送和/或输出过程气体的隧道状的通孔（3）。 | ||
| 申请公布号 | CN103189959B | 申请公布日期 | 2016.05.25 |
| 申请号 | CN201180052957.5 | 申请日期 | 2011.10.26 |
| 申请人 | 欧司朗股份有限公司 | 发明人 | 赫尔穆特·哈尔夫曼;阿克塞尔·洪巴赫;马库斯·罗特 |
| 分类号 | H01J65/04(2006.01)I;H01J5/48(2006.01)I;H01J61/30(2006.01)I | 主分类号 | H01J65/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 张春水;高少蔚 |
| 主权项 | 用于辐照表面的辐射器(20)，具有辐射器容器(19)和与所述辐射器容器连接的辐射器底座(21)，其中所述辐射器底座(21)具有至少一个通气口(23)，所述至少一个通气口构成为用于将过程气体输送到与所述辐射器容器(19)相邻的空间区域中，其特征在于，所述辐射器容器(19)是扁平的并且所述辐射器底座(21)构成为是框架形的，其中所述辐射器底座(21)突出于所述辐射器容器(19)的前侧(22)并且在框架形的所述辐射器底座(21)的突出的内侧上设置有多个通气口(23)。 | ||
| 地址 | 德国慕尼黑 | ||