一种带有导流装置的多晶硅铸锭炉

摘要

本发明公开了一种带有导流装置的多晶硅铸锭炉，包括隔热笼、输气管和导流装置；导流装置设置多条导流气道，用于将输入载气分成多条出射载气流，载气流分散倾斜地吹射液态硅表面的不同区域，有效地增加了载气和液态硅表面的接触面积，载气流从单位面积上带走的热量更少，该区域液态硅的温度降幅减少，过冷度减小，降低了载气所导致的杂质形核及杂质形成。出射载气流对液态硅产生载气应力，其驱动液态硅流动，并形成作周向流动的旋转流场；旋转流场有利于液态硅中质杂的输运和均匀分布。炉顶的观察窗经导流装置具有通向铸锭炉内的视场，通过观察窗可察看炉内的状态、将测晶棒插到炉内，红外探测仪可探测炉内硅料的状态，自动长晶工艺顺利地进行。

主权项

一种带有导流装置的多晶硅铸锭炉，包括隔热笼、输气管和导流装置，所述隔热笼为主要由侧隔热板、顶隔热板和底隔热板所构成的腔体，其特征在于：所述导流装置至少由配接筒和导流筒构成；所述配接筒包括固定连接的配接筒部和进气台部，配接筒部为沿其中心线方向设置通孔的柱体，进气台部设置在配接筒部的内部，进气台部上设置用于载气流入的进气孔，配接筒部的筒壁内设置与其共中心线的呈环状的下端开口的第一分流腔，所述进气孔和第一分流腔间通过连通气道连通；所述导流筒为沿其中心线方向设置通孔的柱体，导流筒上端部的筒壁内设置与其共中心线的呈环状的上端面开口的第二分流腔，第二分流腔和第一分流腔相对应；所述导流筒的筒壁内设置至少一条自第二分流腔下端面沿着非等螺距的圆柱状螺旋线向下延伸的导流气道，导流气道的出口位于导流筒的下端；所述导流筒的上端部穿过顶隔热板中部的通孔，和设置在顶隔热板上方的配接筒轴向固定连接；所述输气管设置在导流装置的内部，输气管的一端和铸锭炉上用于输送载气的进气管连通，另一端和进气台部的进气孔连通。