Verfahren zur Herstellung eines beabstandet zu einem Substrat an elektrisch leitenden Verankerungselementen festgelegten Drahts und Sensorelement

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines beabstandet zu einem Substrat (1) an elektrisch leitenden Verankerungselementen (14) festgelegten Drahts. Die Verankerungselemente (14) sind auf dem Substrat (1) angeordnet und elektrisch leitend mit zwei auf dem Substrat (1) angeordneten und einander gegenüberliegenden Elektroden (2) zur elektrischen Kontaktierung des Drahts (9) über die Verankerungselemente (14) verbunden. Zudem betrifft die Erfindung ein Sensorelement mit zwei beabstandet zueinander auf einem Substrat (1) angeordneten Verankerungselementen (12) und mit einem an den Verankerungselementen (12) beabstandet zu dem Substrat (1) festgelegten Draht (9). Ein Durchmesser des Drahts (9) ist in mindestens einer Raumdimension kleiner als 1000 Nanometer.