发明名称 |
根据灰料法制造合成石英玻璃的方法 |
摘要 |
制造合成石英玻璃的已知方法包括方法步骤:形成含有八甲基环四硅氧烷(D4)作为主要组分(其具有属于其的基准分子量)的SiO<sub>2</sub>原料流,将所述流送入反应区,在此原料通过热解或水解在非晶SiO<sub>2</sub>颗粒形成下转化成SiO<sub>2</sub>,使所述非晶SiO<sub>2</sub>颗粒沉积在沉积面上,形成多孔SiO<sub>2</sub>灰料体,和使所述SiO<sub>2</sub>灰料体玻璃化,形成合成石英玻璃。由此开始,为了能制造具有改进的材料均匀性的外径大于300毫米的大体积圆柱形灰料体,根据本发明建议,该原料含有附加聚烷基硅氧烷形式的附加组分,其中以至少50ppm的重量比例包含相对分子量小于基准分子量的轻质聚烷基硅氧烷,并以至少30ppm的重量比例包含相对分子量大于基准分子量的重质聚烷基硅氧烷。 |
申请公布号 |
CN103946170B |
申请公布日期 |
2016.05.18 |
申请号 |
CN201280057970.4 |
申请日期 |
2012.11.22 |
申请人 |
赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司 |
发明人 |
H.法比安;J.勒佩尔 |
分类号 |
C03B37/014(2006.01)I;C03B19/14(2006.01)I |
主分类号 |
C03B37/014(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
石克虎;林森 |
主权项 |
制造合成石英玻璃的方法,其包括方法步骤:(A) 提供液体SiO<sub>2</sub>原料(105),其含有多于60重量%的八甲基环四硅氧烷(D4),(B) 将液体SiO<sub>2</sub>原料(105)汽化成气态SiO<sub>2</sub>原料蒸气(107),(C) 将SiO<sub>2</sub>原料蒸气(107)转化成SiO<sub>2</sub>颗粒,(D) 使所述SiO<sub>2</sub>颗粒沉积在沉积面(160)上,形成SiO<sub>2</sub>灰料体(200),(E) 使SiO<sub>2</sub>灰料体(200)玻璃化,形成合成石英玻璃,其特征在于,液体SiO<sub>2</sub>原料(105)具有至少一种重量比例为mD3的六甲基环三硅氧烷(D3)的附加组分和重量比例为mD5的十甲基环五硅氧烷(D5)的附加组分,重量比mD3/mD5在0.01至1的范围,并保持重量比mD3/mD5汽化所提供的液体SiO<sub>2</sub>原料(105),并将其至少99重量%汽化成气态SiO<sub>2</sub>原料蒸气(107)。 |
地址 |
德国哈瑙 |