一种多级研抛盘的磨料导流机构

摘要

本发明涉及一种多级研抛盘的磨料导流机构，适用于光学元件、非晶薄膜衬底等工件表面的研磨与抛光加工。它包括研磨盘、底座、中心轴和电机，研磨盘的上方设有多层环形的挡板，挡板由内到外半径逐渐增加，将研磨盘由内到外分成多个环形区域，环形区域内依次交替装有磨料流和清水；磨料流的粒度由内至外逐渐减小；每个挡板上均设有开关门，每个开关门均独立控制。本发明结构简单紧凑，成本较低，自动化程度高，通过控制每一圈的磨料粒度，可以对工件分别进行不同程度精度的加工；工件依次经过不同程度精度的加工，实现了从研磨到抛光的快速衔接，避免了加工过程中刚更换设备或工具，充分提高了加工效率与设备的利用率，节约了资源。

主权项

一种多级研抛盘的磨料导流机构，包括研磨盘、底座、中心轴和电机，电机装在底座内部，电机与中心轴通过联轴器连接，中心轴的顶端设有平键槽，中心轴的顶端通过平键与研磨盘连接，其特征在于：所述研磨盘的上方设有多层环形的挡板，所述挡板由内到外半径逐渐增加，所有所述挡板均以中心轴为轴心，所述挡板将研磨盘由内到外分成多个环形区域，所述环形区域内依次交替装有磨料流和清水；所述磨料流的粒度由内至外逐渐减小；每个所述挡板上均设有开关门；所述开关门下方均设有一个与研磨盘安装在一起的支撑板，所述支撑板上装有电磁吸铁，所述电磁吸铁与开关门通过弹簧连接；所述支撑板与底座之间装有推力球轴承；所述研磨盘每一级环形区域内均设有导流槽，每个所述导流槽均设有开关阀，所述研磨盘的底部设有废水流道，从导流槽流出的废液经过废水流道流出。