电源装置

摘要

本发明提供一种在包含等离子产生装置以及电源装置的系统中自动地决定逆变器的驱动频率的电源装置。本发明所涉及的电源装置(10)具有：在电源装置(10)与等离子产生装置(5)之间创建谐振状态的谐振单元(7)；和进行如下动作的控制部(6)。即，控制部(6)在被指示相对于额定电力为100％的投入电力值(或100％以下且阈值％以上的投入电力值)时，使逆变器频率变化，按照每个逆变器频率分别求取逆变器输出功率因数。然后，控制部(6)基于成为最高的逆变器输出功率因数的逆变器频率来将其决定为逆变器的驱动频率。

主权项

一种电源装置，是对通过将多个放电单元连接而构成的作为容性负载的等离子产生装置(5)输出交流电压的电源装置(10)，所述电源装置(10)的特征在于，具备：逆变器(3)，其将直流电力变换成交流电力；控制部(6)，其控制所述逆变器的动作；检测部(31、32)，其配设于所述逆变器，用于探测在求取逆变器输出功率因数时利用的电量；和谐振单元(7)，其在所述电源装置与所述等离子产生装置之间创建谐振状态，所述控制部，(A)在被指示了相对于所述电源装置的额定电力为100％的投入电力值时，使作为针对所述逆变器的控制值的逆变器频率变化，按照每个逆变器频率基于从所述检测部取得的所述电量来分别求取所述逆变器输出功率因数，(B)基于所述(A)的结果的成为最高的所述逆变器输出功率因数的所述逆变器频率，将其决定为所述逆变器的驱动频率。