DMOS圆片传输履带速度控制装置

摘要

本发明公开了一种DMOS圆片传输履带速度控制装置，其包括有传输履带，传输履带内部设置有多个辊筒与滚轮轴，传输履带在多个辊筒与滚轮轴之间进行延伸；所述传输履带中，至少一个滚轮轴之上设置有光电检测装置，光电检测装置包含有设置在滚轮轴之上的光电检测盘，以及与光电检测盘相对的光电传感器；采用上述技术方案的DMOS圆片传输履带速度控制装置，其可通过光电检测装置对于滚轮轴的旋转速度进行监测；由于滚轮轴用于控制传输履带的前行与转向，滚轮轴的转速即为传输履带，故而上述技术方案可通过光电检测装置实时检测滚轮轴的转速，从而对传输履带的速度进行监测，并对其进行相应控制，以确保圆片加工的稳定性。

主权项

一种DMOS圆片传输履带速度控制装置，其包括有传输履带，传输履带内部设置有多个辊筒与滚轮轴，传输履带在多个辊筒与滚轮轴之间进行延伸，所述辊筒均由驱动电机进行驱动；所述传输履带延伸至用于对DMOS圆片加工的工艺腔室、冷却腔室、蚀刻腔室以及超声波腔室之中；其特征在于，所述传输履带中，至少一个滚轮轴之上设置有光电检测装置，光电检测装置包含有设置在滚轮轴之上的光电检测盘，以及与光电检测盘相对的光电传感器。