一种空气帘装置

摘要

本发明的实施例提供一种空气帘装置，涉及显示技术领域，可保证空气帘装置输出的气流的流量稳定性，提高制作阵列基板的良率。该空气帘装置包括：限压模块，以及与所述限压模块连通的空气帘主体；所述限压模块内设有限压腔，所述限压腔的进风口与外界连通，所述限压腔的第一出风口与所述空气帘主体连通；其中，所述限压腔内设有气压联动机构，所述气压联动机构可随所述限压腔内气压的变化改变所述第一出风口的横截面积，使所述第一出风口流出的气流的压强在预设范围内。该方法可应用于薄膜晶体管阵列基板制造工艺中。

主权项

一种空气帘装置，其特征在于，包括限压模块，以及与所述限压模块连通的空气帘主体；所述限压模块内设有限压腔，所述限压腔的进风口与外界连通，所述限压腔的第一出风口与所述空气帘主体连通；其中，所述限压腔内设有气压联动机构，所述气压联动机构可随所述限压腔内气压的变化改变所述第一出风口的横截面积，使所述第一出风口流出的气流的压强在预设范围内。