基板清洗装置及方法与用于基板清洗装置及方法的清洗刷组件

摘要

明系提供一种基板清洗装置及方法与用于该基板清洗装置方法的清洗刷组件。基板清洗装置系用于以接触方式清洗一基板。基板清洗装置包括一清洗刷。清洗刷系以圆筒形状形成，并以能够旋转的方式设置，且具有一外围表面，外围表面系接触基板，以清洗基板。本发明中，清洗刷包括复数个压力腔室，这些压力腔室系藉由一流体压力来膨胀，且沿着清洗刷之中心部进行旋转的旋转轴的长度方向配置，并且这些压力腔室系分别地以能够独立膨胀的方式形成，以允许外围表面的一部分向半径方向突出，来对基板的一部分相接触并进行清洗。

主权项

一种基板清洗装置，用于以接触方式清洗一基板，包括：一清洗刷，以圆筒形状形成并以能够旋转的方式设置，且具有一外围表面，该外围表面系接触该基板，以清洗该基板，其中该清洗刷包括复数个压力腔室，该些压力腔室系藉由一流体压力来膨胀，且沿着该清洗刷之中心部进行旋转的旋转轴的长度方向配置，并且该些压力腔室系分别地以能够独立膨胀的方式形成，以允许该外围表面的一部分向半径方向突出，来对该基板的一部分相接触并进行清洗。