CIRCULAR LAMP ARRAYS

摘要

본 명세서에 개시된 실시예들은 반도체 처리 챔버에서 사용하기 위한 원형 램프 어레이들에 관한 것이다. 반사성 트로프에 배치되며 동심원 패턴으로 배열된 하나 이상의 토로이드형 램프를 사용하는 원형 램프 어레이들은 개선된 급속 열 처리를 제공할 수 있다. 토로이드형 램프들을 하우징할 수 있는 반사성 트로프들은 처리되는 기판의 표면에 대해 다양한 각도로 배치될 수 있다.