| 摘要 |
기판에 화소 전극과, 입사광에 따른 전하를 생성하는 유기막을 갖는 광전 변환부와, 투명한 대향 전극과, 봉지층이 형성된 고체 촬상 소자의 제조 방법으로서, 이하의 공정을 갖는다. 먼저, 기판의 화소 전극이 형성된 측 표면에 메탈 마스크를 자력으로 밀착시키는 공정과, 기판의 화소 전극이 형성된 측 표면에, 유기물을 증착하여, 유기막을 형성하는 공정과, 유기막 형성 후, 메탈 마스크를 떼어내는 공정과, 유기막 상에 대향 전극을 형성하는 공정과, 대향 전극을 덮는 봉지층을 형성하는 공정을 갖는다. 메탈 마스크는 하프 에칭이 실시되어 있고, 이 하프 에칭이 실시된 측을 화소 전극을 향하게 하여 밀착되어 있다. |
