| 摘要 |
Miniaturowe źródło promieniowania rentgenowskiego typu MEMS, wykonane technikami mikroinżynieryjnymi z wykorzystaniem bondingu anodowego, wykorzystujące mikropompę charakteryzuje się tym, że ma próżnioszczelne komory: mikrokomorę źródła oraz połączoną z nią mikropompę, przy czym mikrokomora źródła zbudowana jest z ułożonych naprzemiennie elektrod i dystansowników, stanowiących jednocześnie jej obudowę: kolejno z katody (A), stanowiącej podstawę dolną, pierwszego dystansownika (B), elektrody ekstrakcyjnej (C), drugiego dystansownika (D), elektrody sterującej (E), trzeciego dystansownika (F) i anody (G), stanowiącej podstawę górną, z czego, poza skrajnymi elektrodami, elementy te posiadają współśrodkowe, przelotowe otwory, natomiast elektroda ekstrakcyjna (C) i drugi dystansownik (D) są wspólne dla mikrokomory źródła i mikropompy, w drugim dystansowniku (D) wykonany jest zaś kanał łączący mikropompę z mikrokomorą źródła. |
