| 摘要 |
유리 기판의 엣지 부분이 접합된 캐리어 플레이트와 얇은 유리 기판을 분리하는 방법은, 레이저 빔이 래스터 인벨롭 내의 복수의 평행한 스캔 경로를 따라서 이동하는 펄스 레이저 빔에 의해 상기 유리 기판의 표면을 조사하는 단계를 포함하여, 래스터 인벨롭이 접합되지 않은 중앙 부분 상의 조사 경로를 따라서 이동하도록 상기 유리 기판과 상기 래스터 인벨롭 사이의 상대 운동을 만든다. 이러한 조사하는 단계는 채널을 형성한 조사 경로를 따라서 상기 유리 기판의 어블레이션을 만들며, 상기 채널은 제 2 표면에서의 폭(W)보다 더 큰 제 1 표면에서의 폭(W)을 갖고 상기 유리 기판의 두께를 통해 뻗어있어, 이에 따라 유리 기판-캐리어 플레이트 조립체와 얇은 유리 시트를 분리한다. |
