Kapazitiver Drucksensor und Verfahren zu dessen Herstellung

摘要

Es ist ein hochgenauer Drucksensor beschrieben, mit einem ersten Grundkörper (1), der zwei elektrisch leitfähige Schichten (11, 13) und eine zwischen den beiden Schichten (11, 13) angeordnete, die beiden Schichten (11, 13) elektrisch gegeneinander isolierende Isolationsschicht (15) aufweist, einer unter Einschluss einer Druckkammer (9) auf dem ersten Grundkörper (1) angeordneten, mit einem zu messenden Druck (p, ∆p) beaufschlagbaren elektrisch leitfähigen Messmembran (5), und einer in der membran-zugewandte Schicht (11) vorgesehenen, von der Messmembran (5) beabstandeten Elektrode (17), die zusammen mit der Messmembran (5) einen Kondensator mit einer in Abhängigkeit von dem auf die Messmembran (5) einwirkenden Druck veränderlichen Kapazität (C1) bildet, der sich dadurch auszeichnet, dass er einen Messmembrananschluss (23, 23‘) aufweist, über den an die Messmembran (5) ein Bezugspotential (U0) anlegbar ist, einen Elektrodenanschluss (25) aufweist, über den ein Elektrodenpotential (E1) der Elektrode (17) abgreifbar ist, und einen Schirmanschluss (27, 27‘) aufweist, über den an die membran-abgewandte Schicht (13) ein unabhängig vom Bezugspotential (U0) vorgebbares Schirmpotential (UE1), insb. ein dem Elektrodenpotential (E1) entsprechendes Schirmpotential (UE1), anlegbar ist.