发明名称 具有多级隔膜泵的嗅探泄漏探测器
摘要 一种嗅探泄漏探测器包括:用于分析氢气或氦气的质谱仪(12);与所述质谱仪(12)连接的涡轮分子泵(14),所述涡轮分子泵(14)的出口(18)与预真空泵(20)连接;以及包括多个进气管线(38、40)并与所述涡轮分子泵(14)的入口(16)连接的嗅探探头;其特征在于:所述嗅探泄漏探测器还包括有包含至少三级的真空泵(28),其入口级(22)设有所述预真空泵(20)并通过阻塞式节流阀(34)与所述涡轮分子泵(14)的所述出口(18)连接,其中在所述真空泵(28)的相邻的级(22、24、26)之间都设有中间入口(34、36),其中每个中间入口(34、36)与所述嗅探探头的不同的进气管线连接,且所述进气管线(38、40)中作为吸气管线(38)的至少一个与所述涡轮分子泵(14)的所述入口(16)连接,以获得不同的气流。
申请公布号 CN105556272A 申请公布日期 2016.05.04
申请号 CN201480048598.X 申请日期 2014.09.02
申请人 英福康有限责任公司 发明人 海克·希尔格斯;亚尔马尔·布鲁恩斯;丹尼尔·维茨格;诺伯特·罗尔夫
分类号 G01M3/20(2006.01)I 主分类号 G01M3/20(2006.01)I
代理机构 深圳中一专利商标事务所 44237 代理人 张全文
主权项 一种嗅探泄漏探测器,包括:用于分析氢气或氦气的质谱仪(12);与所述质谱仪(12)连接的涡轮分子泵(14),所述涡轮分子泵(14)的出口(18)与预真空泵(20)连接;包括多个进气管线(38、40)并与所述涡轮分子泵(14)的入口(16)连接的嗅探探头;其特征在于:包括至少三级的真空泵(28),其入口级(22)设有所述预真空泵(20)并通过阻塞式节流阀(34)与所述涡轮分子泵(14)的所述出口(18)连接,其中在所述真空泵(28)的相邻的级(22、24、26)之间都设有中间入口(34、36),其中每个中间入口(34、36)与所述嗅探探头的不同的进气管线连接,且所述进气管线(38、40)中作为吸气管线(38)的至少一个与所述涡轮分子泵(14)的所述入口(16)连接,以获得不同的气流。
地址 德国科隆