发明名称 |
具有多级隔膜泵的嗅探泄漏探测器 |
摘要 |
一种嗅探泄漏探测器包括:用于分析氢气或氦气的质谱仪(12);与所述质谱仪(12)连接的涡轮分子泵(14),所述涡轮分子泵(14)的出口(18)与预真空泵(20)连接;以及包括多个进气管线(38、40)并与所述涡轮分子泵(14)的入口(16)连接的嗅探探头;其特征在于:所述嗅探泄漏探测器还包括有包含至少三级的真空泵(28),其入口级(22)设有所述预真空泵(20)并通过阻塞式节流阀(34)与所述涡轮分子泵(14)的所述出口(18)连接,其中在所述真空泵(28)的相邻的级(22、24、26)之间都设有中间入口(34、36),其中每个中间入口(34、36)与所述嗅探探头的不同的进气管线连接,且所述进气管线(38、40)中作为吸气管线(38)的至少一个与所述涡轮分子泵(14)的所述入口(16)连接,以获得不同的气流。 |
申请公布号 |
CN105556272A |
申请公布日期 |
2016.05.04 |
申请号 |
CN201480048598.X |
申请日期 |
2014.09.02 |
申请人 |
英福康有限责任公司 |
发明人 |
海克·希尔格斯;亚尔马尔·布鲁恩斯;丹尼尔·维茨格;诺伯特·罗尔夫 |
分类号 |
G01M3/20(2006.01)I |
主分类号 |
G01M3/20(2006.01)I |
代理机构 |
深圳中一专利商标事务所 44237 |
代理人 |
张全文 |
主权项 |
一种嗅探泄漏探测器,包括:用于分析氢气或氦气的质谱仪(12);与所述质谱仪(12)连接的涡轮分子泵(14),所述涡轮分子泵(14)的出口(18)与预真空泵(20)连接;包括多个进气管线(38、40)并与所述涡轮分子泵(14)的入口(16)连接的嗅探探头;其特征在于:包括至少三级的真空泵(28),其入口级(22)设有所述预真空泵(20)并通过阻塞式节流阀(34)与所述涡轮分子泵(14)的所述出口(18)连接,其中在所述真空泵(28)的相邻的级(22、24、26)之间都设有中间入口(34、36),其中每个中间入口(34、36)与所述嗅探探头的不同的进气管线连接,且所述进气管线(38、40)中作为吸气管线(38)的至少一个与所述涡轮分子泵(14)的所述入口(16)连接,以获得不同的气流。 |
地址 |
德国科隆 |