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실시예는 제1 소스와 드레인 노드들을 포함하는 제1 핀, 및 제1 소스와 드레인 노드들 사이의 제1 채널을 포함하는 제1 비평면 트랜지스터; 제2 소스와 드레인 노드들을 포함하는 제2 핀, 및 제2 소스와 드레인 노드들 사이의 제2 채널을 포함하는 제2 비평면 트랜지스터; 제1 소스와 드레인 노드들 사이의 제1 핀의 위 그리고 제2 소스와 드레인 노드들 사이의 제2 핀 위의 비평면 게이트; 및 게이트와 제1 핀 사이에 포함되는 제1 절연과 게이트와 제2 핀 사이의 제2 절연을 포함하고, 여기서 게이트는, 게이트와 제1 핀 중 적어도 하나가 교류(AC)로 액추에이트될 때 제1 주파수에서 기계적으로 공진하여 게이트 상에 주기적 힘들을 생성한다. 기타 실시예들이 본 명세서에 기술된다. |
