研磨工具及其制造方法

摘要

研磨工具在此揭露，其包含硬质的支撑体以及研磨载片，研磨载片与支撑体相固定并由支撑体支撑，研磨载片之相对两侧表面分别定义出工作面及非工作面，工作面上设有多个第一研磨颗粒，非工作面上设有多个第二研磨颗粒，多个第一研磨颗粒具有第一平均粒径值，多个第二研磨颗粒具有小于第一平均粒径值之第二平均粒径值，且研磨载片系由非工作面固定至支撑体。再者，一种研磨工具之制造方法亦在此揭露。

主权项

一种研磨工具，包含：一硬质的支撑体；以及一研磨载片，其与该支撑体相固定并由该支撑体支撑，该研磨载片之相对两侧表面分别定义出一工作面及一非工作面，该工作面上设有复数个第一研磨颗粒，该非工作面上设有复数个第二研磨颗粒，该些第一研磨颗粒具有第一平均粒径值，该些第二研磨颗粒具有小于该第一平均粒径值之一第二平均粒径值，且该研磨载片系由该非工作面固定至该支撑体。