| 发明名称 |
钌或钌合金靶材之制造方法及其制备之钌或钌合金溅镀靶材 |
| 摘要 |
明提供一种钌(Ru)系或钌合金系溅镀靶材之方法，包括：(a)填充一包含钌(Ru)之原料粉末至一模具中；(b)藉由施加压力以制备一模制体；以及(c)烧结该模制体。 |
| 申请公布号 |
TW201615870 |
申请公布日期 |
2016.05.01 |
| 申请号 |
TW103138543 |
申请日期 |
2014.11.06 |
| 申请人 |
喜星金属公司 |
发明人 |
权五执;洪吉秀;杨丞浩;尹元奎 |
| 分类号 |
C23C14/34(2006.01);C23C14/14(2006.01);B22F3/12(2006.01) |
主分类号 |
C23C14/34(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
苏建太;苏清泽 |
| 主权项 |
一种钌系或钌合金系溅镀靶材之制备方法，该制备方法包括： (a) 填充一包含钌(Ru)之原料粉末至一模具中； (b) 藉由施加压力以制备一模制体；以及 (c) 烧结该模制体。 |
| 地址 |
南韩 |
