| 摘要 |
본 발명의 노광 장치는, 방사 빔을 기판(W) 상으로 투영하도록 구성된 투영 시스템 모듈(310)과, 투영 시스템 모듈에 의해, 평면적으로, 덮여지지 않은 때의 기판의 상면 상으로 가스의 흐름(322)을 제공하도록 구성된 가스 샤워 모듈(320)과, 투영 시스템 모듈로부터 가스 샤워 모듈을 향하는 방향으로 또는 가스 샤워 모듈로부터 투영 시스템 모듈을 향하는 방향으로 지향된 가스의 실링 흐름(3255)을 제공하는 실링 가스 출구(325)를 포함한다. |
