| 摘要 |
Способ легирования кремния, заключающийся в том, что пластину кремния обрабатывают в тлеющем разряде газа, отличающийся тем, что в качестве газа используют инертные газы, которые не являются легирующими примесями, в качестве источника легирующих примесей используют сильнолегированный электрод в форме пластины, выполненный из гетерогенного сплава кремния с содержанием легирующего элемента 0,01-50%, а процесс легирования осуществляют при периодической смене полярности импульсов напряжения, подаваемого на электроды. |
