发明名称 |
高分解能の振幅コントラスト撮像 |
摘要 |
ソフトマター対象物の高分解能電子顕微鏡観察を実行するための方法が記載されている。この方法は、ソフトマター対象物で散乱された熱散漫散乱電子の周波数帯域において実質的に一定の伝達関数を用いた球面収差補正を含む電子顕微鏡を用いてソフトマター対象物を照射することを含む。この方法は、そのソフトマターで散乱された熱散漫散乱(TDS)電子を検出すること、および、その熱散漫散乱電子からソフトマター対象物の像を導出するために、検出された熱散漫散乱電子を使用することを含む。【選択図】図1 |
申请公布号 |
JP2016511926(A) |
申请公布日期 |
2016.04.21 |
申请号 |
JP20150557449 |
申请日期 |
2014.02.14 |
申请人 |
ユニフェルシテイト アントウェルペンUniversiteit Antwerpen;エフエーイー・カンパニーFEI COMPANY |
发明人 |
ディルク・ファン・デイク;ウーヴェ・ルッケン;ホルガー・シュターク;サラ・バルス |
分类号 |
H01J37/244;G01N23/04;H01J37/09;H01J37/153;H01J37/22;H01J37/26 |
主分类号 |
H01J37/244 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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