制备微奈米探针设备及方法

摘要

明系关于一种制备微奈米探针设备及方法，制备微奈米探针设备包含电化学蚀刻单元、传送单元、电源供应器、振动单元、清洗单元以及储放单元。电化学蚀刻单元容置具有一蚀刻液表面之电化学蚀刻液。传送单元之夹取部夹取金属材料之一端，将金属材料传送至电化学蚀刻单元，并将金属材料之另一端浸置于电化学蚀刻液中。夹取部和电化学蚀刻液分别与电源供应器之电源正极和电源负极电连接。振动单元使金属材料之另一端相对于蚀刻液表面进行上下位移，以动态蚀刻形成金属探针。传送单元最后将金属探针传送至清洗单元进行清洗并储放至储放单元。

主权项

一种制备微奈米探针设备，包含： 一电化学蚀刻单元，容置一电化学蚀刻液，该电化学蚀刻液具有一蚀刻液表面； 一传送单元，具一夹取部，该夹取部可夹取一金属材料之一端，将该金属材料传送至该电化学蚀刻单元，并将该金属材料之另一端浸置于该电化学蚀刻液中； 一电源供应器，具有一电源正极和该夹取部电连接，一电源负极和该电化学蚀刻液电连结； 一振动单元，连结该夹取部，使该金属材料之另一端可以相对于该蚀刻液表面进行一上下位移，以动态蚀刻形成一金属探针； 一清洗单元，具有一清洗液，该传送单元将该金属探针传送至该清洗单元，并将该金属探针浸置于该清洗液中，以移除该金属探针表面上所残留之电化学蚀刻液；以及 一储放单元，可以收置该被移除电化学蚀刻液后之金属探针。