MANUFACTURING METHOD FOR GLASS SUBSTRATE WITH THIN FILM
摘要
휨이 적은 박막 형성 유리 기판을 용이하게 제조할 수 있는 박막 형성 유리 기판의 제조 방법을 제공한다. 박막 형성 후의 최종 상태에 있어서 유리 기판 (10) 의 주면 (10a) 이 평탄해지도록 유리 기판 (10) 을 소성 변형시킴으로써 유리 기판 (10) 의 주면 (10a) 을 만곡된 형상으로 하는 변형 공정과, 소성 변형시킨 유리 기판 (10) 의 주면 (10a) 상에 박막 (11) 을 형성하는 박막 형성 공정을 실시한다.