一种多晶硅还原炉底盘和尾气冷却系统及其方法

摘要

本发明公开了一种多晶硅还原炉底盘和尾气冷却系统及其方法，涉及改良西门子法多晶硅还原炉和硅烷CVD法多晶硅还原炉底盘和尾气冷却工艺设备领域。本发明包括还原炉底盘冷却结构和尾气冷却结构，所述还原炉底盘冷却结构与尾气冷却结构之间通过法兰连接；所述尾气冷却结构包括尾气冷却水入口、尾气冷却水出口管和尾气排气管；本发明将底盘冷却和尾气冷却采用不同的温度的冷却水，进而将还原炉底盘下的冷却结构进行改变，改变后的冷却结构，能够充分利用尾气中的热量副产水蒸气，增加效益，不造成热量的浪费。

主权项

一种多晶硅还原炉底盘和尾气冷却系统，其特征在于：包括还原炉底盘冷却结构和尾气冷却结构，所述还原炉底盘冷却结构与尾气冷却结构之间通过法兰连接；所述尾气冷却结构包括尾气冷却水入口、尾气冷却水出口管和尾气排气管，所述尾气排气管上设置有夹层套管，所述尾气冷却水入口设置在尾气排气管下端的夹层套管上，所述尾气冷却水出口管设置在尾气排气管上端，且与尾气排气管上的夹层套管连通；所述底盘冷却结构包括还原炉底盘、底盘冷却水入口管、底盘冷却水出口管、排气管和冷却水管；所述冷却水管设置在还原炉底盘底部，所述底盘冷却水出口管设置在还原炉底盘下方且连接在冷却水管上，所述底盘冷却水出口管与冷却水管连通；所述排气管上设置有夹层套管，所述排气管连接在还原炉底部，且所述冷却水管与排气管上的夹层套管连通；所述底盘冷却水入口管设置在排气管下部，且所述底盘冷却水入口管与排气管的夹层套管连通。