具有框架通路的气体传感器设备和相关方法

摘要

一种气体传感器设备可以包括气体传感器集成电路(IC)以及框架，该气体传感器集成电路具有气体感测表面以及与该气体感测表面相邻的多个键合焊盘，该框架具有穿过其延伸的与该气体感测表面相邻的多条气体通路。该气体传感器设备可以包括：多条引线，每条引线具有与该框架间隔开并且键合至对应的键合焊盘的近端以及从该近端向下延伸的远端；以及填充在这些引线的近端与该框架之间的空间的包封材料。

主权项

一种气体传感器设备，包括：气体传感器集成电路(IC)，所述气体传感器集成电路具有气体感测表面以及与其相邻的多个键合焊盘；框架，所述框架具有穿过其延伸的与所述气体感测表面相邻的多条气体通路；多条引线，每条引线具有与所述框架间隔开并且键合至对应的键合焊盘的近端以及从所述近端向下延伸的远端；以及包封材料，所述包封材料填充在所述多条引线的所述近端与所述框架之间的空间。