| 发明名称 | 一种氮化铝陶瓷基板的镀膜方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种氮化铝陶瓷基板的镀膜方法，包括步骤：S1，对待加工的氮化铝陶瓷基板进行清洗；S2，清洗完成之后，在氮化铝陶瓷基板上电镀一层渐变的TiAlN金属化合物膜层或者NiAlN金属化合物膜层；S3，在镀好的TiAlN金属化合物膜层上镀TiCu合金膜层；S4，在镀好的TiCu合金膜层上镀Cu金属膜层，完成陶瓷基板的镀膜操作。本发明提高金属与氮化铝陶瓷基板的结合力外，还可以减少工序中引入的热阻层，从而提高封装基板的导热和散热性能。 | ||
| 申请公布号 | CN105506624A | 申请公布日期 | 2016.04.20 |
| 申请号 | CN201510970847.7 | 申请日期 | 2015.12.22 |
| 申请人 | 北京大学东莞光电研究院 | 发明人 | 王广文;李顺峰;丁松林 |
| 分类号 | C23C28/02(2006.01)I | 主分类号 | C23C28/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人 | 罗晓林 |
| 主权项 | 一种氮化铝陶瓷基板的镀膜方法，包括以下步骤：S1，对待加工的氮化铝陶瓷基板进行清洗；S2，清洗完成之后，在氮化铝陶瓷基板上电镀一层渐变的TiAlN金属化合物膜层或者NiAlN金属化合物膜层；S3，在镀好的TiAlN金属化合物膜层上镀TiCu合金膜层；S4，在镀好的TiCu合金膜层上镀Cu金属膜层，完成陶瓷基板的镀膜操作。 | ||
| 地址 | 523000 广东省东莞市松山湖创新科技园1号楼418室 | ||