热化学过程的诱导及相关系统和方法

摘要

本发明涉及热化学过程的诱导及相关的系统和方法。根据特定实施方案的方法包括在反应器中设置第一和第二基底，各基底具有彼此面对的表面。方法可进一步包括将前体气体导入反应器并激活接近基底的相对表面的感应线圈以解离前体气体。将前体气体的成分沉积在第一和第二表面上，且由每个表面和/或沉积在该表面上的成分辐射的热在另一表面和/或沉积在另一表面上的成分处被接收。

主权项

一种形成材料的方法，包括：在反应器中设置第一基底，所述第一基底具有暴露的第一表面；在所述反应器中设置第二基底，所述第二基底具有面向所述第一表面的暴露的第二表面；将所述第一基底的不同于所述第一表面的另外的暴露表面隔热，以至少除了在所述第一表面处之外限制由所述第一基底的辐射；将所述第二基底的不同于所述第二表面的另外的暴露表面隔热，以至少除了在所述第二表面处之外限制由所述第二基底的辐射；将前体气体导入所述反应器；激活接近所述第一和第二表面的感应线圈以解离所述前体气体；将所述前体气体的成分沉积在所述第一和第二表面上；在所述第二表面和沉积在所述第二表面上的成分中至少之一处接收由所述第一表面和沉积在所述第一表面上的成分中至少之一辐射的热；在所述第一表面和沉积在所述第一表面上的成分中至少之一处接收由所述第二表面和沉积在所述第二表面上的成分中至少之一辐射的热；以及以连续的方式在相反的方向上从所述反应器中取出所述第一和第二基底，同时将所述成分沉积在所述第一和第二基底上。