一种永磁透镜式聚光镜及应用其的桌面型扫描电子显微镜

摘要

本实用新型公开了一种永磁透镜式聚光镜及应用其的桌面型扫描电子显微镜，包括聚光镜壳体、贯穿聚光镜壳体的电子束通道，所述聚光镜壳体内设有对经过所述电子束通道的电子束进行聚焦的永磁透镜；所述永磁透镜为采用钕铁硼材质；同时提供了一种包括所述永磁透镜式聚光镜的桌面型扫描电子显微镜。本实用新型开创性地将永磁透镜式聚光镜应用于桌面型扫描电子显微镜，利用永磁透镜的常态磁透镜特点，能够永久处于工作状态且保持固定的缩小倍数、提高了工作效率，无需设置电路提供电流，减轻了重量、缩小了体积，能够达到桌面类型工作台应用的要求。

主权项

一种永磁透镜式聚光镜，包括聚光镜壳体、贯穿聚光镜壳体的电子束通道，其特征在于：所述聚光镜壳体内设有对经过所述电子束通道的电子束进行聚焦的永磁透镜。