| 摘要 |
【課題】顕微分光装置の面分析の測定時間の短縮とクロストークの回避とを両立させる。【解決手段】ラマン分光装置１０は、一方向に同ピッチで並んだ複数のアパーチャー３０を有するマルチスリット２８を使って、レーザー光をマルチビームに整形するビーム整形手段と、マルチビームを集光して直線状に並んだ複数のビームスポットＩＣを試料Ｓに形成する対物レンズ１２と、複数のビームスポットＩＣからの光の中間像ＩＡを整形する結像レンズ１８と、中間像ＩＡの位置に設けられた分光器前スリット２２と、このスリット２２の通過光を分光してビームスポットＩＣのスペクトル像を検出する分光器５０およびＣＣＤ検出器６０とを備える。さらに、複数のアパーチャー３０を、当該アパーチャーの配列方向に半ピッチだけ進退させる移動装置３２と、この移動装置３２の動作およびＣＣＤ検出器６０の検出サイクルを連動させる制御装置７０とを備える。【選択図】 図２ |
