一种耐冲击硅梁MEMS复合开关

摘要

本发明提供一种耐冲击硅梁MEMS复合开关，包括起承载作用的玻璃片与作为可动结构层的硅片，并采用阳极键合工艺将玻璃片和硅片键合为一体。该硅梁MEMS复合开关由两个驱动方向相反的侧向运动的硅梁MEMS子开关和一个公共接触块串联组成，能够保证在加速度小于20000g条件下保持断开状态，在加速度小于8000g的条件下保持闭合状态。本发明解决了MEMS开关在大冲击力的作用下出现闭合现象，为MEMS开关在高冲击条件下的应用提供了新的解决方案。

主权项

一种耐冲击硅梁MEMS复合开关，其特征在于，该MEMS复合开关包括玻璃承载片和位于玻璃承载片上的两个完全相同但驱动方向相反的硅梁，所述两个硅梁具有相同的谐振频率和模态特性，且相互平行，两硅梁之间设置一个公共接触块。