| 发明名称 | PECVD用石墨舟卡点 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种PECVD用石墨舟卡点，包括圆柱固定部及对称设置在圆柱固定部两侧的圆柱卡接部，圆柱卡接部包括第一圆柱卡接部和两端分别与第一圆柱卡接部和圆柱固定部连接的第二圆柱卡接部，第一圆柱卡接部、第二圆柱卡接部和圆柱固定部同轴布置，第一圆柱卡接部的直径为5.6mm，第二圆柱卡接部的直径为4.3mm。本申请提供的石墨舟卡点的使用寿命延长。 | ||
| 申请公布号 | CN205170969U | 申请公布日期 | 2016.04.20 |
| 申请号 | CN201520815458.2 | 申请日期 | 2015.10.20 |
| 申请人 | 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司 | 发明人 | 叶飞;蒋方丹;金浩 |
| 分类号 | C23C16/458(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/458(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 李海建 |
| 主权项 | 一种PECVD用石墨舟卡点，包括圆柱固定部(3)及对称设置在圆柱固定部(3)两侧的圆柱卡接部，所述圆柱卡接部包括第一圆柱卡接部(1)和两端分别与所述第一圆柱卡接部(1)和所述圆柱固定部(3)连接的第二圆柱卡接部(2)，所述第一圆柱卡接部(1)、所述第二圆柱卡接部(2)和所述圆柱固定部(3)同轴布置，其特征在于，所述第一圆柱卡接部(1)的直径为5.6mm，所述第二圆柱卡接部(2)的直径为4.3mm。 | ||
| 地址 | 314416 浙江省嘉兴市海宁市袁花镇袁溪路58号 | ||