| 摘要 |
패턴화된 코팅 층(30)을 기판(1) 상에 제조하기 위한 슬롯-다이 코팅 기구는, 기판 캐리어(6), 코팅 장치, 센서 설비(70), 및 제어기(80)을 포함할 수 있다. 기판 캐리어(6)는 기판(1)을 제공하기 위한 지지대 상에 정렬된다. 코팅 장치는 헤드-측 유닛 및 지지대 측 유닛(50, 55, 52, 각각)을 포함하고, 이들은 모터(52, 56)에 의하여 서로에 대하여 각자가 상호간에 이동가능하다. 헤드 측 유닛은 병진 파츠(52) 및 슬롯-다이 코팅 헤드(2)를 포함한다. 지지대-측 유닛(55)는 모터의 고정자 파츠(56)를 포함한다. 제어기(80)는 요구되는 거리(Ds)에서 슬롯-다이 코팅 헤드를 위치시키기 위하여 모터(52)를 제어한다. 지지대-측 유닛(55)는 헤드-측 유닛(50)의 질량과 적어도 동일한 질량을 가지고, 지지대-측 유닛(55)은 유연하게 지지대(60)와 결합된다. |
