一种纳米压印机及其加压方法

摘要

本发明公开了一种纳米压印机及其加压方法，该压印机包括真空腔、驱动装置、加压盘、承压平台和固化成形装置，所述承压平台设置于真空腔内的底部，所述压盘设置于真空腔内承压平台的上方，且所述压盘连接驱动装置，所述驱动装置包括由伺服电机和滚珠丝杠组成的直驱式伺服电动缸，所述伺服电动缸的缸体内设置有高灵敏压力传感器，所述加压盘包括上、下加压盘，所述上加压盘连接滚珠丝杠，且所述上、下压盘之间布置有滚动摩擦圆珠，所述承压平台上设置有加热装置，且其底部设置有紫外光源。上述纳米压印机具有压力分布均匀，压印压力、保压时间和压印速度可自行控制和设置以及可适用热固化成形和紫外固化成形的优点。

主权项

一种纳米压印机，其包括真空腔、驱动装置、加压盘、承压平台和固化成形装置，所述承压平台设置于真空腔内的底部，所述加压盘设置于真空腔内承压平台的上方，且所述加压盘连接驱动装置，其特征在于，所述加压盘包括上加压盘、下加压盘，所述上加压盘连接驱动装置，且所述上加压盘、下加压盘之间布置有滚动摩擦圆珠，所述滚动摩擦圆珠经精密研磨至镜面，其滚动摩擦系数小于0.01,所述固化成形装置包括设置于承压平台上的加热装置和设置于承压平台底部的紫外光源；所述驱动装置包括由伺服电机和滚珠丝杠组成的直驱式伺服电动缸，所述伺服电动缸的缸体内设置有最小压力感知为1N的高灵敏压力传感器，所述上加压盘连接滚珠丝杠。