激光加工装置

摘要

本发明提供激光加工装置，其能够高效地实施烧蚀加工。激光加工装置具有光路摆动构件，该光路摆动构件配设在脉冲激光振荡器和聚光器之间，使从脉冲激光振荡器振荡出的脉冲激光光线的光路摆动并将该脉冲激光光线导向聚光器。光路摆动构件包含多面镜扫描器和声光偏转单元，其中，光路摆动构件配设在聚光器侧，使从脉冲激光振荡器振荡出的脉冲激光光线进行扫描而导向聚光器，声光偏转单元配设在多面镜扫描器的脉冲激光振荡器侧，对从脉冲激光振荡器振荡出的脉冲激光光线的光路的方向进行变更，并将该脉冲激光光线导向多面镜扫描器。

主权项

一种激光加工装置，其特征在于，所述激光加工装置具有：卡盘工作台，其保持被加工物；激光光线照射构件，其对保持在卡盘工作台上的被加工物进行激光加工；以及移动构件，其使该卡盘工作台和该激光光线照射构件相对地移动，该激光光线照射构件具有：脉冲激光振荡器，其振荡出脉冲激光光线；聚光器，其使从该脉冲激光振荡器振荡出的脉冲激光光线聚光后照射至保持在卡盘工作台上的被加工物；以及光路摆动构件，其配设在该脉冲激光振荡器和该聚光器之间，使从该脉冲激光振荡器振荡出的脉冲激光光线的光路摆动而将该脉冲激光光线导向该聚光器，该光路摆动构件由多面镜扫描器和声光偏转构件构成，其中，所述多面镜扫描器配设在该聚光器侧，使从该脉冲激光振荡器振荡出的脉冲激光光线进行扫描而导向该聚光器，所述声光偏转构件配设在该多面镜扫描器的该脉冲激光振荡器侧，对从该脉冲激光振荡器振荡出的脉冲激光光线的光路的方向进行变更，并将该脉冲激光光线导向该多面镜扫描器，该光路摆动构件通过由该声光偏转构件实现的光路的方向变更和由该多面镜扫描器实现的光路的方向变更，复合地使脉冲激光光线的光路摆动，来对保持在卡盘工作台上的被加工物照射脉冲激光光线。