压电组合物、压电元件和溅射靶材

摘要

本发明的目的在于提供在-40℃～85℃的温度区域中压电特性的温度变化率小的压电组合物以及具备它们的压电元件、或者溅射靶材。所述压电组合物以(K_1-x-yNa_xLi_y)_q(Nb_1-zTa_z)O₃···(1)(0.20≤x≤0.80，0.02≤y≤0.10，0.01≤z≤0.30，0.800≤q≤1.050)、SrZrO₃···(2)、Ba(Nb_1-wTa_w)₂O₆···(3)(0.01≤w≤0.30)、(Bi_0.5Na_0.5)TiO₃和/或(Bi_0.5K_0.5)TiO₃···(4)、(1-m-n-p)A+mB+nC+pD···(5)(A表示(1)所示的复合氧化物，B表示(2)所示的复合氧化物，C表示(3)所示的复合氧化物，D表示(4)所示的复合氧化物，0.04≤m≤0.07，0<n≤0.010，0.001≤p≤0.020)为主成分。

主权项

一种压电组合物，其特征在于，以式(5)所示的组合物为主成分，所述式(5)所示的组合物包含下述式(1)所示的第1钙钛矿型氧化物、下述式(2)所示的第2钙钛矿型氧化物、下述式(3)所示的钨青铜型氧化物、以及下述式(4)所示的第3钙钛矿型氧化物，(K_1‑x‑yNa_xLi_y)_q(Nb_1‑zTa_z)O₃…(1)其中，式中x为0.20≤x≤0.80，y为0.02≤y≤0.10，z为0.01≤z≤0.30，q为0.800≤q≤1.050，SrZrO₃…(2)Ba(Nb_1‑wTa_w)₂O₆…(3)其中，式中w为0.01≤w≤0.30，(Bi_0.5Na_0.5)TiO₃和/或(Bi_0.5K_0.5)TiO₃…(4)(1‑m‑n‑p)A+mB+nC+pD…(5)式中，A表示上述式(1)所示的复合氧化物，B表示上述式(2)所示的复合氧化物，C表示上述式(3)所示的复合氧化物，D表示上述式(4)所示的复合氧化物，式中m为0.04≤m≤0.07，n为0<n≤0.010，p为0.001≤p≤0.020。