自动频率调谐源和偏置射频电源的电感耦合等离子处理室

摘要

本发明公开一种自动频率调谐源和偏置射频电源的电感耦合等离子处理室，其包含：处理室，其内腔底部设有阴极，其顶部上设有若干源线圈；源射频电源，其电路连接源线圈；偏置射频电源，其电路连接阴极；源射频电源和偏置射频电源可自动频率调谐，响应并匹配负载阻抗的变化；源射频电源与源线圈之间电路连接有匹配电路；偏置射频电源与阴极之间电路连接有匹配电路；匹配电路固定；处理室包含：检测负载阻抗的检测电路和电路连接检测电路的控制电路；源射频电源和偏置射频电源分别对应电路连接有控制电路。本发明中源射频电源和偏置射频电源具有自动频率调谐功能，通过扫频电调输入处理室的源射频电源和偏置射频电源，调谐速度快，调谐范围大。

主权项

一种自动频率调谐源和偏置射频电源的电感耦合等离子处理室，其适用于采用博世法进行晶圆处理的工艺，包含：处理室（6）；阴极（7），其设置于处理室（6）内腔底部；若干个源线圈（5），其设置于处理室（6）顶部上；源射频电源（3），其电路连接若干所述的源线圈（5）；偏置射频电源（2），其电路连接所述的阴极（7）；其特征在于，所述的源射频电源（3）和偏置射频电源（2）采用具有自动频率调谐功能的射频电源；所述的源射频电源（3）与源线圈（5）之间电路连接有匹配电路（1）；所述的偏置射频电源（2）与阴极（7）之间电路连接有匹配电路（1）；所述匹配电路（1）是固定的，源射频电源（3）和偏置射频电源（2）响应并匹配负载阻抗的变化；该等离子处理室还包含：检测电路，其输入端电路连接处理室（6），检测处理室（6）的负载阻抗；控制电路，所述的源射频电源（3）和偏置射频电源（2）分别对应电路连接有控制电路，该控制电路电路连接检测电路的输出端。