发明名称 压电多层器件及其制造方法
摘要 压电多层器件具有压电堆(1),所述压电堆(1)具有压电陶瓷层(2)和内电极(5,6)的交替序列以及具有在外侧上的钝化部(7)。钝化部由不同于陶瓷层的材料的压电陶瓷制造。在制造方法中,钝化部与陶瓷层一起被极化。
申请公布号 CN103210514B 申请公布日期 2016.04.06
申请号 CN201180047380.9 申请日期 2011.09.27
申请人 埃普科斯股份有限公司 发明人 M.加勒
分类号 H01L41/053(2006.01)I;H01L41/083(2006.01)I;H01L41/23(2013.01)I;H01L41/257(2013.01)I 主分类号 H01L41/053(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 胡莉莉;卢江
主权项 一种压电多层器件,其具有:‑ 压电堆(1),所述压电堆(1)具有压电陶瓷层(2)和内电极(5,6)的交替序列,以及‑ 在压电堆(1)的外侧上的钝化部(7),其特征在于,‑ 钝化部(7)的材料是压电陶瓷并且与压电堆(1)的陶瓷层(2)的材料不同,其中,钝化部(7)的陶瓷具有比压电堆(1)的陶瓷层(2)小的矫顽电场强度,或被取得来使得其由于带有极化的特征而比压电堆(1)的陶瓷层(2)的材料更强烈地被伸长,其中,钝化部(7)在压电堆(1)的通过陶瓷层(2)和内电极(5,6)的序列限定的纵向方向(11)上具有压缩应力,该压缩应力由于钝化部(7)与压电堆(1)的牢固连接而被保持,并且该压缩应力至少部分地补偿在压电堆(1)在纵向方向(11)上伸展时被施加到钝化部(7)上的拉应力。
地址 德国慕尼黑