光源装置以及光照射方法

摘要

明提供光源装置及光照射方法。实施方式的光源装置1包括发光部20、控制单元50及扩散板41。发光部具有多个第一发光元件21及多个第二发光元件22。第一发光元件射出第一峰值波长的紫外线。第二发光元件射出与第一峰值波长不同的第二峰值波长的紫外线。以第二发光元件的至少一个位于第一发光元件的周围的方式，将多个第一发光元件及多个第二发光元件配置成面状或直线状。控制单元使发光部中位于外缘的发光部的相对照度比位于的发光部的相对照度大。扩散板使第一发光元件与第二发光元件射出的紫外线扩散并照射到被照射物W。

主权项

一种光源装置，其特征在于包括：发光部，具有：多个第一发光元件，射出第一峰值波长的紫外线；及多个第二发光元件，射出与所述第一峰值波长不同的第二峰值波长的紫外线且配置于所述第一发光元件的周围；以所述第二发光元件中的至少一个位于所述第一发光元件的周围的方式，将所述多个第一发光元件及所述多个第二发光元件配置成面状或直线状；调整单元，使所述发光部中的位于外缘的发光部的相对照度比位于中央的发光部的相对照度大；及光学零件，使所述第一发光元件与所述第二发光元件射出的紫外线扩散并照射到被照射物。