| 发明名称 | 基板搬送装置 | ||
| 摘要 | 可多段总括搬送之基板搬送装置中的基板载置部挠曲。 | ||
| 申请公布号 | TW201613023 | 申请公布日期 | 2016.04.01 |
| 申请号 | TW104130722 | 申请日期 | 2015.09.17 |
| 申请人 | 东京威力科创股份有限公司 | 发明人 | 若林真士 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01) | 主分类号 | H01L21/677(2006.01) |
| 代理机构 | 代理人 | 林秋琴;陈彦希;何爱文 | |
| 主权项 | 一种基板搬送装置，系将复数基板总括搬送之基板搬送装置，具备有：基板载置部，系于高度方向隔有间隔地加以配置，可同时载置复数基板；基板载置部保持体，系将该复数基板载置部保持为一体；以及移动机构，系与该基板载置部保持体连结，将该复数基板载置部一体地加以移动；该移动机构系具有：第1臂部，系具有由外部被加以支撑之第1支撑部，并与该基板载置部保持体之长边方向一端连结；第2臂部，系具有由外部被加以支撑之第2支撑部，并与该基板载置部保持体之长边方向另端连结；以及连结部，系连结该第1臂部及该第2臂部。 | ||
| 地址 | 日本 | ||