发明名称 半导体装置及其制造方法
摘要 体装置包含基板、第一源极/汲极(S/D)、第二S/D以及半导体片单元。基板系延伸于实质水平方向。第一S/D系形成于基板上。第二S/D系位于第一S/D上方。半导体片单元系延伸于实质垂直方向,并且互连第一S/D与第二S/D。
申请公布号 TW201613032 申请公布日期 2016.04.01
申请号 TW104108584 申请日期 2015.03.18
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 吴俊鹏;汤皓玲;王志豪;刘继文;蔡庆威;大藤彻;何炯煦;佘绍煌;谢文兴
分类号 H01L21/8234(2006.01);H01L27/088(2006.01);H01L29/06(2006.01);H01L29/08(2006.01);H01L29/423(2006.01);H01L29/66(2006.01);H01L29/78(2006.01) 主分类号 H01L21/8234(2006.01)
代理机构 代理人 冯博生
主权项 一种半导体装置,其包括:一基板,其延伸于实质水平方向;一第一源极/汲极(S/D),其系形成于该基板上;一第二S/D,其系位于该第一S/D上方;以及一半导体片单元,其延伸于实质垂直方向,并且互连该第一S/D与该第二S/D。
地址 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号