打线接合方法

摘要

在接合所必要的区域及时间供应加热过的空气或气体，改善接合性，减少加热所导致的不良影响，达到提到产能及品质。具备：喷嘴形状的套管，系内部内建有由可瞬间加热的电阻温度系数较大之金属所组成之电热器，具有从前端将热风对包括接合点的接合构件喷吹之吹出口和使压缩气体流入另一端之流入口；加热控制手段，系将电热器加热；以及压缩气体供应控制手段，系进行压缩气体对套管的供应、阻断；加热控制手段及压缩气体供应控制手段系以对每一接合点，可变热风的温度、热风的吹出时序，在接合中接合工具尚未触及接合点间中的至少任一期间，设定热风并未从套管供应给接合构件的期间的方式控制。

主权项

一种打线接合方法，系藉由接合工具以金属线将作为接合点之半导体晶片上的电极(焊垫)与外部端子(引脚)连接之打线接合方法，其特征为，具有：喷嘴形状的套管，系在内部内建由可瞬间加热之电阻温度系数较大的金属所组成之电热器，具有从前端将热风对包括接合点的接合构件喷吹之吹出口及使压缩气体流入另一端之流入口；加热控制手段，系将前述电热器加热；及压缩气体供应控制手段，系对前述套管进行压缩气体的供应、阻断；以在接合中之前述接合工具尚未触及接合点间中的至少任一期间，藉由前述加热控制手段和前述压缩气体供应控制手段，设定前述热风并未从前述套管供应给接合构件的期间的方式控制；设定前述套管的前述吹出口喷出热风的位置为前述接合工具的着地点，前述加热控制手段、前述压缩空气供应控制手段于每一接合点搜寻高度为前述接合工具的下降速度从高速变成低速的高度，配合接合时序，控制前述电热器的发热温度及
开始热风的喷出，前述套管的前述吹出口喷出热风。