| 主权项 |
一种剥离装置，其系剥离彼此密接之第1板状体与第2板状体者，其特征在于包括：保持器件，其保持上述第1板状体；上游侧剥离器件，其具有吸附保持上述第2板状体之表面中之与密接于上述第1板状体之面为相反侧的反密接面之一部分之上游侧吸附部，一面藉由上述上游侧吸附部吸附上述第2板状体，一面使上述上游侧吸附部自上述保持器件离开而自上述第1板状体剥离藉由上述上游侧吸附部吸附之上述第2板状体之被吸附部位，从而向剥离推进方向推进上述第2板状体之剥离；下游侧剥离器件，其具有于上述剥离推进方向上之上述被吸附部位之下游侧，面向上述第2板状体之上述反密接面设置之下游侧吸附部，于使上述下游侧吸附部向上述第2板状体中之藉由上述上游侧剥离器件剥离之剥离部位移动而吸附上述剥离部位之上述反密接面后，使上述下游侧吸附部按照吸附有上述第2板状体之状态自上述保持器件离开而向上述剥离推进方向推进上述第2板状体之剥离；监控器件，其监控上述下游侧吸附部相对于上述第2板状体之上述反密接面之相对位置；及控制器件，其基于藉由上述监控器件而获得之与上述相对位置相关之位置资讯，对利用上述下游侧吸附部进行之上述第2板状体之吸附开始进行控制。
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