发明名称 KOLLEKTORSCHALE UND KOLLEKTOR FÜR EINE BELICHTUNGSANLAGE
摘要 Es wird eine Kollektorschale (200) für einen Kollektor (110) für eine Belichtungsanlage (100) beschrieben, die einen Kollektorschalenkörper (210) mit einer Außenfläche (212) und einer Innenfläche (214), wobei der Kollektorschalenkörper (210) rotationssymmetrisch zu einer Achse (116) ausgebildet ist, und zumindest eine Kühlrippe (216) zum Abführen von Wärme aus dem Kollektorschalenkörper (210) aufweist. Die zumindest eine Kühlrippe (216) ist an der Außenfläche (212) des Kollektorschalenkörpers (210) wärmeleitend angebracht und erstreckt sich zumindest teilweise in Richtung der Achse (116).
申请公布号 DE102015204204(A1) 申请公布日期 2016.03.31
申请号 DE201510204204 申请日期 2015.03.10
申请人 CARL ZEISS SMT GMBH 发明人 SCHWARZ, SERGEJ;BAUER, JOHANNES
分类号 G02B5/08;G02B5/09;G02B7/195;G03F7/20 主分类号 G02B5/08
代理机构 代理人
主权项
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