发明名称 |
KOLLEKTORSCHALE UND KOLLEKTOR FÜR EINE BELICHTUNGSANLAGE |
摘要 |
Es wird eine Kollektorschale (200) für einen Kollektor (110) für eine Belichtungsanlage (100) beschrieben, die einen Kollektorschalenkörper (210) mit einer Außenfläche (212) und einer Innenfläche (214), wobei der Kollektorschalenkörper (210) rotationssymmetrisch zu einer Achse (116) ausgebildet ist, und zumindest eine Kühlrippe (216) zum Abführen von Wärme aus dem Kollektorschalenkörper (210) aufweist. Die zumindest eine Kühlrippe (216) ist an der Außenfläche (212) des Kollektorschalenkörpers (210) wärmeleitend angebracht und erstreckt sich zumindest teilweise in Richtung der Achse (116). |
申请公布号 |
DE102015204204(A1) |
申请公布日期 |
2016.03.31 |
申请号 |
DE201510204204 |
申请日期 |
2015.03.10 |
申请人 |
CARL ZEISS SMT GMBH |
发明人 |
SCHWARZ, SERGEJ;BAUER, JOHANNES |
分类号 |
G02B5/08;G02B5/09;G02B7/195;G03F7/20 |
主分类号 |
G02B5/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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