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Aufnahmeeinrichtung zur Aufnahme und Halterung eines unteren Substrats (2) mit folgenden Merkmalen: – eine Halterungsfläche (1o), – Haltemittel zur Halterung des unteren Substrats (2) an der Halterungsfläche (1o) und – Messmittel zur Ermittlung einer nichtlinearen Komponente eines run-out-Fehlers des unteren Substrats (2). |
