MEMS 压力传感器

摘要

一种MEMS压力传感器，包括一压力敏感膜、至少四正面压敏电阻和至少四背面压敏电阻，其中所述压力敏感膜具有一正面和一背面，每所述正面压敏电阻和每所述背面压敏电阻分别设于所述压力敏感膜的正面和背面，电连接后形成至少一惠斯通电桥，设于所述正面和所述背面相对应位置的压敏电阻的阻值随压力的变化方向相反，以抵消各压敏电阻之间由于工艺条件和/或外界因素产生的误差，提高所述MEMS压力传感器输出的稳定性和精度。

主权项

一种MEMS压力传感器，其特征在于，包括：一压力敏感膜，具有一正面和一背面；至少四正面压敏电阻；以及至少四背面压敏电阻，每所述正面压敏电阻和每所述背面压敏电阻分别设于所述压力敏感膜的正面和背面，其中每所述正面压敏电阻和每所述背面压敏电阻电连接后得以感测压力。